Високоефективний електростатичний патрон з нітриду алюмінію для напівпровідникових систем

Чому нітрид алюмінію? Основні переваги обробки напівпровідників

Наш електростатичний патрон з нітриду алюмінію розроблено для роботи у високоточних середовищах. Він усуває критичні больові точки для виробників, які прагнуть покращити контроль і ефективність.

Розроблені властивості для максимальної продуктивності

• Виняткова теплопровідність (170 Вт/м·К): сприяє швидкому розсіюванню тепла, забезпечуючи рівномірну температуру пластини під час таких процесів, як травлення та осадження, що є критично важливим для послідовності.
• Низька діелектрична проникність (8–9 МГц): забезпечує стабільну електричну ізоляцію, мінімізуючи втрати сигналу та забезпечуючи точне електростатичне закріплення в середовищах із високим рівнем радіочастот.
• Висока механічна міцність і довговічність: витримує механічні навантаження та зберігає площинність, підтримуючи точність нанорозмірної літографії.
• Збіг теплового розширення з кремнієм: точно узгоджений коефіцієнт мінімізує напругу пластини під час швидкого термоциклування, зменшуючи дефекти та покращуючи продуктивність.
• Стійкість до окислення та хімічних речовин: забезпечує довговічність в агресивних плазмових або хімічних середовищах, скорочуючи час простою та витрати на обслуговування.

Технічні характеристики продукту

Наші електростатичні патрони AlN виготовляються відповідно до точних стандартів із можливістю налаштування відповідно до конкретних вимог OEM.

• Матеріал: нітрид алюмінію високої чистоти (AlN)
• Функція: Електроізоляція та ефективне розсіювання тепла
• Колір: сірий
• Тип: передова технічна кераміка
• Щільність: 3,3 г/см³
• Індивідуалізація: підтримується детальними кресленнями — ми вітаємо OEM та індивідуальні замовлення.

Останні технологічні тенденції галузі

У секторі напівпровідників спостерігається зсув у бік матеріалів, які забезпечують вищу щільність потужності та менші форм-фактори. Ключові тенденції:

1. Інтеграція вдосконаленої кераміки: крім AlN, зростає використання композитної кераміки для багатофункціональних патронів, які поєднують затиск із вбудованими охолоджуючими каналами.
2. Вимоги до кращого управління теплом: у міру того, як вузли зменшуються, ефективне розсіювання тепла стає вирішальним, що стимулює впровадження матеріалів з високою теплопровідністю, таких як AlN, замість стандартного Al2O3 .
3. Налаштування для конкретних процесів: виробники шукають індивідуальні рішення для таких застосувань, як потужні напівпровідникові підкладки) і мікрохвильові радіочастотні підкладки), де властивості матеріалу повинні відповідати унікальним робочим навантаженням.
4. Стійкість і довговічність: акцент на кераміці з підвищеною довговічністю, щоб зменшити кількість відходів і збільшити час безвідмовної роботи обладнання.

Puwei залишається в авангарді, інвестуючи в дослідження та розробки, щоб адаптувати ці тенденції до наших продуктових ліній, від ESC до спеціалізованих товстоплівкових керамічних підкладок).

Основні сфери застосування

Наші електростатичні патрони AlN служать різноманітним високотехнологічним галузям, демонструючи універсальність і надійність:

• Виробництво силових напівпровідників: ідеально підходить для виробництва IGBT і MOSFET, де керування температурою є критичним. Для інших енергетичних застосувань наші підкладки з високою теплопровідністю пропонують аналогічні переваги.
• Виробництво світлодіодів: забезпечує стабільне затискання та розсіювання тепла під час обробки світлодіодних мікросхем. Ознайомтеся з нашими спеціальними світлодіодними керамічними підкладками для оптимізованих рішень освітлення.
• Збірка лазерного діода: діє як ефективний радіатор для лазерних систем, подібно до наших компонентів для лазерних керамічних радіаторів.
• Автомобільна електроніка: підтримує виробництво ЕБУ та датчиків, які вимагають витривалості в суворих умовах. Наші автомобільні електронні керамічні підкладки розроблені для цієї стійкості.
• Мікрохвильові та радіочастотні схеми: забезпечує низькі втрати сигналу та термічну стабільність у високочастотних додатках, доповнюючи наші керамічні плати для радіочастотних модулів.
• Товстоплівкові гібридні мікросхеми: пропонують надійну основу для точних процесів осадження, схожих на наші спеціальні керамічні підкладки, адаптовані до конкретних конструкцій.

Налаштування та підтримка OEM у Puwei

Ми усвідомлюємо, що готових рішень може бути недостатньо для передового виробництва. Puwei надає комплексні послуги з налаштування — від вибору матеріалу до обробки складної геометрії. Наша команда тісно співпрацює з клієнтами для розробки ESC та пов’язаних компонентів, таких як стійкі до високих температур підкладки, на основі детальних специфікацій. Ця гнучкість поширюється на наше ширше портфоліо, включаючи керамічні підкладки для енергетичних пристроїв для різноманітних термічних проблем.

Часті запитання (FAQ)

Q1: Як AlN порівнюється з глиноземом (Al2O3) для електростатичних патронів?

A: AlN забезпечує значно вищу теплопровідність (~170 Вт/м·K проти ~20-30 Вт/м·K для оксиду алюмінію), що робить його кращим для застосувань із високою температурою. У той час як підкладки з 96% оксиду алюмінію забезпечують чудову електроізоляцію та економічну ефективність, AlN є кращим там, де управління теплом має першочергове значення, наприклад, у передових силових напівпровідниках.

Q2: Чи може Puwei налаштувати конструкцію патрона для конкретного обладнання?

A: Так. Ми підтримуємо повну кастомізацію на основі креслень клієнта. Наш процес включає:

1. Консультація для розуміння вимог до заявки.
2. Вибір матеріалу та прототипування.
3. Тестування для підтвердження продуктивності.
4. Виробництво та гарантія якості.

Такий підхід забезпечує сумісність із вашими напівпровідниковими інструментами.

Q3: Які галузі найбільше виграють від патронів AlN?

A: Основні бенефіціари включають фабрики з виробництва напівпровідників, виробників силових пристроїв, виробників радіочастотних компонентів і постачальників автомобільної електроніки. Наші патрони також є невід’ємною частиною таких нових сфер, як інфраструктура 5G і силові агрегати електромобілів.

Для отримання додаткової інформації про наш електростатичний патрон з нітриду алюмінію або пов’язані продукти, такі як керамічні диски та підкладки з алюмінію, зв’яжіться з Shaanxi Puwei Electronic Technology Co., Ltd. сьогодні. Поділіться своїми вимогами, і наша команда експертів запропонує індивідуальні рішення для підвищення ефективності виробництва.